I principali esigenze di prestazione di scopi sò:

    purezza

   A purità hè unu di i principali indici di prestazione di destinazione, perchè a purità di u so materiale hà una grande influenza in u rendiment di film. Tuttavia, in l'applicazioni pratiche, i requisiti di purità di i so materiali sò ancu diffirenti. Per esempiu, cù u rapidu sviluppu di l'industria di a microelettronica, a dimensione di l'oblea di siliciu hè da 6, 8 "à 12", è a larghezza di cablaggio hè ridutta da 0.5um à 0.25um, 0.18um o ancu 0.13um. In u passatu 99.995% di a purezza di u materiale di destinazione pò risponde à i requisiti tecnichi di 0.35umIC, mentre chì a preparazione di u filu di 0.18um richiede 99.999% o ancu 99.9999% di a purezza di u materiale di destinazione.

   Cuntenutu impurità

   L'impurità in u solidu, l'ossigenu è u vapore d'acqua in i pori sò i principali fonti di i filmi depositati. Diversi obiettivi anu esigenze diverse per diversi cuntenuti di impurità. Per esempiu,Resistente à a Corrusione Alta Temperature Disc Shape Tantaliu Sputtering Target,

L'aluminiu puru è i materiali di lega d'aluminiu utilizati in l'industria di i semiconduttori anu esigenze speciali per u cuntenutu di metalli alkali è u cuntenutu di elementi radiuattivi.

   densità

  Per riduce a porosità in i solidi di destinazione è migliurà e proprietà di i filmi sputtered, i materiali di destinazione sò generalmente richiesti d'avè alta densità. A densità ùn affetta micca solu a rata di sputtering, ma ancu affetta e proprietà elettriche è ottiche di i filmi. A più alta a densità di destinazione, u megliu u rendiment di a film. Inoltre, l'aumentu di a densità è a forza di u mira permetterà à u mira di resistà megliu u stress termicu durante u sputtering. A densità hè ancu unu di i principali indicatori di rendiment.

   Grana di granu è distribuzione di granu

   Di solitu, u mira hè struttura policristallina, è u granu pò esse da micron à millimetru. Per u listessu scopu, u tassu sputtering o cù picculu granu granu hè più veloce chè cù grande grana grana, è a distribuzione di spessore di u film magre dipositu da u scopu cù picculu granu diffarenza (distribuzione uniforme) hè più uniforme.

 amparà di più infurmazione circa Resistente à a Corrusione Alta Temperature Disc Shape Tantaliu Sputtering Target